苏州海芯半导体设备科技有限公司
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- 部件名称：PUMP LASER
- 型号：ADSLA-670P10F/S/C
- 替代OEM型号：THERMA-WAVE 18-012491 / 18-015417 自由空间式PROBE LASER
- 适用机台：THERMA-WAVE TP500
- 技术特点：采用我们全新设计制造的窄线宽光纤激光器，输出670纳米波长，10MW功率，以及全新设计的温控热沉部件、非球面镜准直器部件、安装支架等，直接替换原激光模块中由专用激光二极管、准直镜、双棱镜、热沉构成的激光组件，输出更高光束质量的直径5毫米准直高斯分布激光束。