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- 部件名称：HITACHI CD-SEM S-9380 CG4000机台专用TAMZO PA单元通信协议转换器
- 型号：ADSCC-4093-3CP
- 适用机台：HITACHI S-9380, CG4000
- 用途：该通信控制器单元，用于将来自机台计算机串行通信口的晶圆预对准器通信控制指令转换为TAMZO新一代预对准器的控制器指令，使得机台可以直接控制MAF-RBPN型预对准单元，该预对准单元（ALIGNER）可识别小尺寸及标准尺寸、透明及半透明的SIC晶圆，方便用户进行工艺升级。
- 技术特点：该单元采用WINDOWS CE实时系统，具备三个通信口，其中两个为RS232C，一个为RS485。除常规通信外，还可以与S-9380机台通过RS485接口实现校准手柄调整模式下的所有手动通信指令，方便用户使用原有S-9380机台的PA手柄对新MAF-RBPN ALIGNER进行参考和偏移位置等关键参数的设置校准。
- 用户可通过简单的编辑设置文件来改变ALIGNER实际读出晶圆和CD-SEM机台读出晶圆间的尺寸映射关系。